Cas N0. :75-79-6  分子式 :CH₃Cl₃Si

甲基三氯硅烷是一种有机化合物，分子式CH3Cl3Si。英文名methyltrichlorosilane；methyl silicochloroform ，缩写为MTS；别名甲基硅仿、三氯甲基硅烷 ；外观与性状是无色液体，具有刺鼻恶臭，易潮解。